Основна багатоточкова термопари BF

Дифузійна піч окислення є ключовим технологічним обладнанням для виробництва ПВ -клітин. Він змішує і дифундує простежування кількості бору, фосфору та інших елементів на кремнієвій вафлі при високих температурах для приготування PN -з'єднань та складання з нього інтегрованих ланцюгів.

Опис продукції

Загальноприйнято використовувати термопари, що вимірюють як внутрішні, так і зовнішні частини печі для контролю внутрішньої температури дифузійної печі, яка могла б виконати процес окислення. Кожна задана температурна зона має зовнішню та внутрішню термопару, щоб переконатися, що результати міри надійні. Внутрішні термопари використовуються для вимірювання температури вафель, він зазвичай має 3 ~ 9 виміру, що точно представляє температуру вафель. Зовнішні термопари використовуються для відчуття зовнішньої поверхні печі, кожна з яких зазвичай має лише одну пару проводів, щоб забезпечити непряме вимірювання печі. Зазвичай температура процесу окислення нижча, ніж процес дифузії, таким чином, може бути розгорнута основна багатоточкова термопари BF.

Технічні параметри	Основна багатоточкова термопари BF
Технічні параметри	Всередині
Тип	K,N
Діаметр дроту або мімуру	φ2~4
Робоча температура (ступінь)	0~950
Точність (ступінь)	± 1,5 або 0. 4%· t
Довжина захисної трубки (мм)	Менше або дорівнює 4000
Діаметр захисної трубки (мм)	φ14~22
Матеріал захисної трубки	310 або 321
Структура гарячого кінця	Утеплений
Кількість балів	3 ~ 9 балів
Припинення	Невеликий роз'єм
Компенсаційний провід	Kx (nx) {{0}} × 0.5fpf
Характеристики структури	Легко розібратися, T/C для будь -якої точки можна видалити, якщо потрібно